Результаты предельно высокого качества на повседневной основе
14 высокоточных шаговых двигателей управляют всеми подвижными частями микроскопа, а интеллектуальное программное обеспечение стирает грань между оптическим и СЗМ изображением. НЕКСТ обеспечивает непрерывное увеличение от миллиметровых панорамных оптических изображений до атомарного разрешения, а такие промежуточные операции, как наведение лазера на кантилевер, позиционирование образца, «мягкий» подвод и конфигурация продвинутых СЗМ методик происходит автоматически.
Новый СЗМ контроллер PX Ultra и программное обеспечение последнего поколения предоставляют широчайшие возможности как начинающим, так и опытным пользователям. НЕКСТ оснащен более чем 60 методиками в базовой конфигурации.
Благодаря использованию новейшей элементной базы, PX Ultra контроллер обладает высокой производительностью и гибкостью в конфигурировании. Низкошумящие высоковольтные усилители (шум <1 мВ/600 В) вместе с рекордно минимальными шумами системы слежения (~25 фм/√Гц) позволяют получать результат высочайшего качества, а возможность использования одновременно до 5 синхронных детекторов открывает новые возможности в исследование электрофизических свойств материалов.
Программное обеспечение Nova PX оснащено системой автоматической установки параметров и интеллектуальными алгоритмами для быстрой конфигурации работы НЕКСТ во всех продвинутых методиках. Наряду с быстрой конфигурацией, Nova PX даёт исследователям неограниченную гибкость в настройках.
Рельеф поверхности измеряется с помощью контактной, амплитудно-модуляционной АСМ, а также инновационной методики HybriD Mode™, как в на воздухе, так и в жидкости.
Анализ кривых различной природы (зависимость силы, амплитуды, частоты, фазы или тока от расстояния, а также ВАХ, АЧХ и много другое) даёт в дополнение ко всему мощный инструмент для характеризации образца.
МСМ измерения НЕКСТ позволяет проводить с использованием двухпроходных методик, построчной и покадровой.
NEXT позволяет реализовать широкий спектр различных электрических измерений, таких как электростатическая силовая микроскопия с фазовой, частотной и амплитудной модуляций, Кельвин-зондовая силовая микроскопия с фазовой и амплитудной модуляцией, измерение распределения dC/dZ и dC/dV, измерение диэлектрической проницаемости, отображение сопротивления растекания и силовая микроскопия пьезоотклика.
Измерения методом сканирующей туннельной микроскопии возможны по методу постоянного тока и постоянной высоты. Кроме того возможно одновременное отображение плотности состояний и работы выхода, а также снятие зависимостей I(V), I(Z), dI/dV и dI/dZ.
Одной из дополнительных возможностей NEXT является наносклерометрия. NEXT позволяет получать численные значения твёрдости и модуля Юнга с использованием зондов Берковича и стандартных АСМ кантилеверов в зависимости от свойств исследуемого образца.
HybriD Mode™ (HD-AFM™) – инновационная АСМ методика, которая с помощью контроллера HybriD даёт комплексную информацию об образце за один цикл измерений. В процессе измерений зонд тысячи раз в секунду проходит весь диапазон значимых силовых взаимодействий – от нулевого до прямого контактного взаимодействии с образцом. Это позволяет получать распределение широкого спектра морфологических, механических, химических, электрических, магнитных и других характеристик образца.
Жидкостная головка
Дополнительная измерительная головка с открытой ячейкой для измерений в жидкости
Наносклерометрическая головка
Дополнительная головка для
Нагревательный столик
Нагрев образца в диапазоне от КТ до 150°C
Джойстик
АСМ зондовые датчики
НТ-МДТ предлагает широкий набор СЗМ датчиков, от обычных кремниевывх и поликремниевых до датчиков с ультра острыми алмазоподобными углеродными зондами, с различными покрытиями, для магнитных измерений, для СБОМ и многие другие:
контактные, проводящие контактные, бесконтактные и проводящие бесконтактные.
На воздухе
АСМ (контактная, амплитудно-модуляционная), АСМ спектроскопия, АСМ литография (силовая, токовая, вольтовая) , Растровая прыжковая силовая микроскопия, Латерально-силовая микроскопия, Силовая модуляционная микроскопия, Отображение сопротивления растекания, Силовая микроскопия пьезоотклика и переключательная спектроскопия, ЭСМ, Кельвин-зондовая силовая микроскопия, МСМ, СТМ (микроскопия, спектроскопия, литография) , Наносклерометрия.
В жидкости
АСМ (контактная, амплитудно-модуляционная), АСМ спектроскопия, Силовая АСМ литография, РПСМ, ЛСМ, СММ.
Измерительная система
| Измерительные головки | АСМ и СТМ (стационарные, с автоматической установкой); жидкостная и наносклерометрическая (сменные, с ручной установкой) |
| Доступные СЗМ методы | АСМ, СТМ, наносклерометрия на воздухе АСМ, в жидкости |
| Система регистрации отклонений кантилевера | автоматизированная юстировка |
| Образец | |
| Размер | до 20 мм в диаметре, до 10 мм в высоту |
| Вес образца | до 40 г |
| Температурный контроль образца | от комнатной до 150° С |
| Система сканирования | |
| Тип сканирования | образцом |
| Область сканирования | 100x100x10 мкм (с датчиками обратной связи) 3x3x2 мкм в режиме высокого разрешения |
| Нелинейность, XY | 0.1 % (с датчиками обратной связи) |
| Разрешение | |
| Шум XY | не более 0.3 нм (с датчиками обратной связи) |
| Уровень шума Z (RMS в полосе 10 — 1000 Гц) | 0.03 нм (типично) с датчиками обратной связи 0.02 нм в режиме высокого разрешения |
| Система позиционирования образца | |
| Способ позиционирования | автоматизированный, привязанный к системе видеонаблюдения |
| Диапазон, XY | 5x5 мм |
| Минимальный шаг | 0.3 мкм |
| Система видеонаблюдения | |
| разрешение | 2 мкм |
| фокусировка | моторизованная |
| Zoom | непрерывное увеличение рабочей области моторизованная |
| Размеры и вес | |
| Размеры | 470x210x260 мм |
| Вес | 25 кг |
