HD EFM

Полностью цифровой контроллер обеспечивает максимальную гибкость в организации экспериментов для продвинутых пользователей, сохраняя при этом высокий уровень автоматизации для начинающих пользователей. Уникальные решения в конструкции электроники и электронные компоненты высокого качества позволяют достичь непревзойденных характеристик в ключевых компонентах АСМ, таких как: система слежения лазер-фотодиод и управление пьезо-сканером.

Группа АСМ методов, основанных на регистрации электростатических сил, действующих между зондом и образцом , включает Электростатическую силовую микроскопию (ЭСМ) и Кельвин-зондовую силовую микроскопию (КЗСМ), а также методы измерения локальных диэлектрических свойств в различных конфигурациях, среди которых микроскопия напряжений Максвелла и другие .

Эти методы предназначены для картирования изменений электростатической силы и измерений распределений поверхностного потенциала и диэлектрической проницаемости. Они используют проводящий зонд, на который действует электростатическая сила со стороны образца. Процесс измерений хорошо описывается моделью, в которой зонд и образец образуют две обкладки микроскопического конденсатора (Рис. 1a).

При работе по электростатическим методам АСМ зонд приводится в колебания с частотой ω_mech с помощью пьезопривода, а электростатические силы возникают вследствие приложения к зонду постоянного или переменного (на частоте ω_mech или другой частоте ω_elec) электрического напряжения смещения.

В ходе сканирования проводящий зонд испытывает одновременно механическое и электростатическое воздействие со стороны образца.

Вклады этих взаимодействий можно разделить, либо регистрируя их в различных проходах сканирования при одинаковой частоте возбуждения (двухпроходная методика) или обойдясь одним проходом, в котором одновременно измеряются механические и электростатические взаимодействия по разным частотным каналам .