2.2.4.3 Приложения
1. Параболический или сферический зонд.
Модель применима для зондов со сферически закругленным острием при малых расстояниях до поверхности образца
. Такой же результат получается в общем случае для параболического зонда.
(1)
В АСМ-условиях для кремниевого зонда и образца при
,
,
:
.
2. Конический зонд.
Модель применима в том случае, когда масштабом закругления острия зонда по сравнению с расстоянием до образца можно пренебречь
(
).
(2)
В АСМ-условиях для кремниевого зонда и образца при
,
,
:
.
3. Пирамидальный зонд.
Модель применима в том случае, когда масштабом закругления острия зонда по сравнению с расстоянием до образца можно пренебречь
().
(3)
В АСМ-условиях для кремниевого зонда и образца при
,
,
:
.
4. Конический зонд с закругленным острием.
Модель является обобщением (1) и (2) при произвольном соотношении масштабов
и
.
(4)
где
. При
(полусферический зонд) формула (4) переходит в формулу (1), а при
(конусообразный зонд) – в формулу (2).
В АСМ-условиях для кремниевого зонда и образца при
,
,
:
.